簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "自動化及控制研究所".dept (精準) and ckeyword.raw="先進封裝製程"


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    應用於半導體先進封裝製程之數位微影潛像品質分析
    • /107/ 碩士
    • 研究生: 萬道聲 指導教授: 郭鴻飛
    • 在半導體製程中,先進封裝(Advanced Package, AP)被視為持續摩爾定律的辦法之一,使用不同功能之晶片將其進行堆疊,並使用先進封裝可以得到較小的元件尺寸,本文將研究探討數位微影曝光系統…
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    • 全文公開日期 2024/07/30 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/07/30 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/07/30 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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